[发明专利]一种二维材料异质结场效应晶体管、制备方法及应用在审
| 申请号： | 202211207800.1 | 申请日： | 2022-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN115440795A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 陈溪强;郑照强 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/24;H01L29/10;H01L29/423;H01L29/778;H01L21/34;H01L21/44 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 余胜茂 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明涉及一种二维材料异质结场效应晶体管、制备方法及应用，属于晶体管技术领域，所述晶体管包括导电衬底、设置在所述导电衬底上的绝缘介质层、设置在所述绝缘介质层上的栅电极、设置在所述栅电极上的第一个二维材料层、设置在所述第一个二维材料层上的第二个二维材料层、分别设置在所述第二个二维材料层两端的源电极和漏电极，在所述源电极和漏电极之间为沟道区；所述第一个二维材料层与第二个二维材料层的材质不同，所述第一个二维材料层为铁电材料；所述第二个二维材料层与源电极及漏电极之间能形成欧姆接触。本发明提供的二维材料异质结场效应晶体管具有高达10 |
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| 搜索关键词： | 一种 二维 材料 异质结 场效应 晶体管 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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