[发明专利]显示基板及其制造方法、显示装置在审

专利信息
申请号: 202211201204.2 申请日: 2022-09-29
公开(公告)号: CN115440783A 公开(公告)日: 2022-12-06
发明(设计)人: 刘军;周斌;苏同上;孙涛;马宇轩;王海东 申请(专利权)人: 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32;H01L51/52;H01L51/56
代理公司: 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138 代理人: 雷思鸣
地址: 230012 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 提供了一种显示基板及其制造方法、显示装置,属于显示技术领域。该方法中,首先可以在隔离区形成沿远离衬底的方向依次层叠的金属膜层和绝缘膜层。然后可以采用一张掩膜板,对绝缘膜层和部分金属膜层进行第一刻蚀处理,形成第一绝缘层、第一金属层和覆盖第一绝缘层和部分第一金属层侧壁的络合物层。再然后可以直接以络合物层为遮挡部,对第一金属层进行第二刻蚀处理,得到上宽下窄具有尖端角的阻隔结构。因在第一刻蚀处理时,仅刻蚀了厚度较小的部分金属膜层,故使得仅在第一金属层的部分侧壁上形成了络合物层,进而使得可以在不采用掩膜板的基础上,对第一金属层进行可靠的第二刻蚀处理,得到良率较好的阻隔结构,实现对外界水汽的可靠阻挡。
搜索关键词: 显示 及其 制造 方法 显示装置
【主权项】:
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