[发明专利]气浮转台及其工作方法有效
申请号: | 202211153859.7 | 申请日: | 2022-09-21 |
公开(公告)号: | CN115435015B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 王强;刘百川;孙志超;于光明;庭玉超 | 申请(专利权)人: | 江苏京创先进电子科技有限公司 |
主分类号: | F16C32/06 | 分类号: | F16C32/06;F16C41/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B7/22;H01L21/683;H01L21/673;H01L21/67 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 康亚健 |
地址: | 215500 江苏省苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明属于晶圆减薄机技术领域,公开了气浮转台及气浮转台的工作方法。气浮转台包括机架、转台和气浮垫,转台用于承载待加工的工件,转台转动设置于机架上,且转台能够在垂直机架的方向上相对机架移动。气浮垫设置于转台与机架之间,气浮垫上朝向转台的一侧设置有多个气孔,通过气孔向转台吹气能够使转台与气浮垫之间间隔预设距离,停止向转台吹气转台将回落至气浮垫上,通过气孔抽真空能够将转台吸附于气浮垫上。通过设置气浮垫对转台吹气,提高了转台转动过程中的平稳度;并通过抽真空将转台吸附于气浮垫上,防止因减薄件对晶圆施加磨削力而造成转台翘起,从而保证减薄作业的尺寸精度。 | ||
搜索关键词: | 转台 及其 工作 方法 | ||
【主权项】:
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