[发明专利]气浮转台及其工作方法有效

专利信息
申请号: 202211153859.7 申请日: 2022-09-21
公开(公告)号: CN115435015B 公开(公告)日: 2023-10-24
发明(设计)人: 王强;刘百川;孙志超;于光明;庭玉超 申请(专利权)人: 江苏京创先进电子科技有限公司
主分类号: F16C32/06 分类号: F16C32/06;F16C41/00;B24B41/06;B24B41/02;B24B7/22;H01L21/683;H01L21/673;H01L21/67
代理公司: 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 代理人: 康亚健
地址: 215500 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 转台 及其 工作 方法
【权利要求书】:

1.气浮转台,其特征在于,包括:

机架(1);

转台(2),用于承载待加工的工件,所述转台(2)转动设置于所述机架(1)上,且所述转台(2)能够在垂直所述机架(1)的方向上相对所述机架(1)移动;

气浮垫(3),设置于所述转台(2)与所述机架(1)之间,所述气浮垫(3)上朝向所述转台(2)的一侧设置有多个气孔,通过所述气孔向所述转台(2)吹气能够使所述转台(2)与所述气浮垫(3)之间间隔预设距离,停止向所述转台(2)吹气所述转台(2)将回落至所述气浮垫(3)上,通过所述气孔抽真空能够将所述转台(2)吸附于所述气浮垫(3)上。

2.根据权利要求1所述的气浮转台,其特征在于,所述气浮垫(3)设置有多个,多个气浮垫(3)沿所述转台(2)的周向间隔设置。

3.根据权利要求2所述的气浮转台,其特征在于,所述气浮垫(3)连接有气管,所述气管与多个所述气孔相连通,多个所述气浮垫(3)的所述气管与同一气源和真空发生器相连通,所述气管通过多路阀门选择性地与所述气源或所述真空发生器相连通。

4.根据权利要求1所述的气浮转台,其特征在于,所述气浮垫(3)采用氧化铝陶瓷材质制作而成。

5.根据权利要求1-4任一项所述的气浮转台,其特征在于,所述气浮转台还包括:

转轴(4),穿设所述机架(1)和所述转台(2),所述转轴(4)与所述机架(1)转动相连,所述转轴(4)转动能够带动所述转台(2)旋转,且所述转台(2)能够沿所述转轴(4)的轴线方向移动,所述转轴(4)的顶端设置有第一锁紧件(5),以限定所述转台(2)的移动距离;

驱动件,被配置为驱动所述转轴(4)转动。

6.根据权利要求5所述的气浮转台,其特征在于,所述转轴(4)上还套设有弹性件(6),所述转台(2)上设置有调节孔(21),所述转轴(4)穿设于所述调节孔(21),所述第一锁紧件(5)和所述弹性件(6)位于所述调节孔(21)内,所述调节孔(21)的孔壁上设置有限位台(211),所述弹性件(6)夹设于所述限位台(211)与所述第一锁紧件(5)之间。

7.根据权利要求5所述的气浮转台,其特征在于,所述转轴(4)与所述机架(1)之间设置有轴承(7)。

8.根据权利要求7所述的气浮转台,其特征在于,所述轴承(7)间隔设置有多个,所述转轴(4)上还套设有第二锁紧件(8),所述第二锁紧件(8)锁紧于其中一个所述轴承(7)处,以限制所述转轴(4)与所述轴承(7)相对移动。

9.气浮转台的工作方法,其特征在于,基于权利要求1-8中任一项所述的气浮转台,所述气浮转台的工作方法包括如下步骤:

S1,通过所述气浮垫(3)上的所述气孔向所述转台(2)吹气,使所述转台(2)脱离所述气浮垫(3),并止停于与所述气浮垫(3)间隔预设距离的位置;

S2,使所述转台(2)相对所述机架(1)转动,以带动所述工件转动;

S3,使所述转台(2)停止转动,逐渐减小通入所述气孔的气体压力至零,使所述转台(2)逐渐减小与所述气浮垫(3)之间的距离直至贴合于所述气浮垫(3)上;

S4,对所述气孔抽真空,将所述转台(2)吸附于所述气浮垫(3)上。

10.根据权利要求9所述的气浮转台的工作方法,其特征在于,步骤S1中,在所述转台(2)与所述气浮垫(3)之间塞入塞规,以对所述预设距离进行测量。

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