[发明专利]测试气缸、半导体设备及其活塞运行速度的监测方法在审
| 申请号： | 202211053111.X | 申请日： | 2022-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN115419629A | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 苏飞 | 申请（专利权）人： | 上海积塔半导体有限公司 |
| 主分类号： | F15B15/14 | 分类号： | F15B15/14;F15B15/20;F15B19/00 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 杜娟娟 |
| 地址： | 200135 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测试气缸、半导体设备及其活塞运行速度的监测方法。测试气缸包括：气缸本体；活塞，位于气缸本体内；滑动变阻器，包括高阻滑轨、低阻滑轨及导电滑块；高阻滑轨及低阻滑轨平行间隔排布于气缸本体的外壁上；导电滑块横跨高阻滑轨及低阻滑轨，与高阻滑轨及低阻滑轨均相接触；导电滑块随活塞一起运动；供电电源，与高阻滑轨相对的两端相连接；电压检测装置，与高阻滑轨的一端及低阻滑轨的一端均相连接。上述实施例提供的测试气缸中，通过增设置滑动变阻器、供电电源及电压检测装置，能够对活塞的运行情况进行实时监控，从而在气缸存在问题时能够及时发现并更换，进而避免宕机的产生并提高产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 气缸 半导体设备 及其 活塞 运行 速度 监测 方法 | ||
【主权项】：
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