[发明专利]测试气缸、半导体设备及其活塞运行速度的监测方法

说明书

本发明涉及一种测试气缸、半导体设备及其活塞运行速度的监测方法。测试气缸包括：气缸本体；活塞，位于气缸本体内；滑动变阻器，包括高阻滑轨、低阻滑轨及导电滑块；高阻滑轨及低阻滑轨平行间隔排布于气缸本体的外壁上；导电滑块横跨高阻滑轨及低阻滑轨，与高阻滑轨及低阻滑轨均相接触；导电滑块随活塞一起运动；供电电源，与高阻滑轨相对的两端相连接；电压检测装置，与高阻滑轨的一端及低阻滑轨的一端均相连接。上述实施例提供的测试气缸中，通过增设置滑动变阻器、供电电源及电压检测装置，能够对活塞的运行情况进行实时监控，从而在气缸存在问题时能够及时发现并更换，进而避免宕机的产生并提高产品的良率。

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，特别是涉及一种测试气缸、半导体设备及其活塞运行速度的监测方法。

背景技术

在现有的半导体设备中，很多设备都会具有气缸；在气缸工作的过程中，气缸中的活塞需要严格按照运行速度进行运动，以确保产品的良率。在气缸实际的工作过程中，气缸会因为磨损、漏气和润滑油失效等原因，会导致气缸卡顿，造成爆冲现象；而爆冲会引起较为明显的震动，进而导致半导体设备宕机和颗粒缺陷(Particle)的产生，从而导致产品良率的降低。目前一般通过在气缸相对两端分别设置两个磁性感应器来获取活塞的运行速度，但该方案只能通过检测气缸的运行时间及活塞的行程得到活塞在整个工作过程中的平均速度，并不能获取活塞在气缸工作过程中的实时运行速度，在气缸异常出现卡顿和发生爆冲现象时无法及时发现，从而容易导致半导体设备宕机和降低产品良率。

发明内容

基于此，有必要针对上述现有技术中存在的由于只能通过检测气缸的运行时间及活塞的行程得到活塞在整个工作过程中的平均速度，并不能获取活塞在气缸工作过程中的实时运行速度，在气缸异常出现卡顿和发生爆冲现象时无法及时发现，从而容易导致半导体设备宕机和降低产品良率的问题，提供一种测试气缸、半导体设备及其活塞运行速度的监测方法。

第一方面，本申请根据一些实施例，提供一种测试气缸，测试气缸包括：

气缸本体；

活塞，位于所述气缸本体内；

滑动变阻器，包括高阻滑轨、低阻滑轨及导电滑块；所述高阻滑轨及所述低阻滑轨平行间隔排布于所述气缸本体的外壁上；所述导电滑块横跨所述高阻滑轨及所述低阻滑轨，与所述高阻滑轨及所述低阻滑轨均相接触；所述导电滑块随所述活塞一起运动；

供电电源，与所述高阻滑轨相对的两端相连接；

电压检测装置，与所述高阻滑轨的一端及所述低阻滑轨的一端均相连接。

上述实施例提供的测试气缸中，通过增设置滑动变阻器、供电电源及电压检测装置，能够对活塞的运行情况进行实时监控，从而在气缸存在问题时能够及时发现并更换，进而避免宕机的产生并提高产品的良率。

在其中一个实施例中，所述测试气缸还包括磁环，所述磁环套于所述活塞的外围；所述导电滑块包括磁吸式滑块。

在其中一个实施例中，所述测试气缸还包括多个磁感应侦测器，多个所述磁感应侦测器间隔排布于所述气缸本体的外壁上。

在其中一个实施例中，所述电压检测装置与所述高阻滑轨及所述低阻滑轨位于所述导电滑块同一侧的一端均相连接。

基于同样的发明构思，第二方面，本申请还提供一种测试气缸中活塞运行速度的监测方法，所述测试气缸为第一方面中提供的测试气缸，所述监测方法包括：

所述活塞滑动时，使用所述电压检测装置实时检测，以得到检测电压；

基于所述检测电压、所述供电电源的供电电压及所述高阻滑轨的长度得到所述活塞的实时运行速度。

在其中一个实施例中，所述基于所述检测电压、所述供电电源的供电电压及所述高阻滑轨的长度得到所述活塞的实时运行速度，包括：