[发明专利]原子层沉积设备和原子层沉积设备的定温定量输气装置

摘要

本发明提供了原子层沉积设备和原子层沉积设备的定温定量输气装置，涉及原子层沉积技术领域。定温定量输气装置包含第一输气组件、至少一个第二输气组件、第一控温组件、第二控温组件。包括用以连通反应腔的出气管。第二输气组件包括定量腔室、第一进气管、用以连通定量腔室和出气管的第一阀门，以及用以连通第一进气管和定量腔室的第二阀门。第一进气管用以连通源瓶。第一控温组件构造为能够套置于源瓶，用以控制源瓶的温度。第二控温组件，其构造为配置于所述出气管和所述第二输气组件，用以控制所述出气管和所述第二输气组件内的反应源的温度。定温定量输气装置能够定量定温的向反应腔中输送反应气体，提高了原子层沉积的质量。