[发明专利]原子层沉积设备和原子层沉积设备的定温定量输气装置

权利要求书

1.一种原子层沉积设备的定温定量输气装置，其特征在于，包含：

第一输气组件(3)，包括用以连通反应腔的出气管(23)；

至少一个第二输气组件(4)，包括定量腔室(26)、第一进气管(27)、用以连通所述定量腔室(26)和所述出气管(23)的第一阀门(22)，以及用以连通所述第一进气管(27)和所述定量腔室(26)的第二阀门(21)；所述第一进气管(27)用以连通源瓶；

第一控温组件(5)，其构造为能够套置于源瓶，用以控制源瓶内反应源的温度；

第二控温组件(7)，其构造为配置于所述出气管(23)和所述第二输气组件(4)，用以控制所述出气管(23)和所述第二输气组件(4)内的反应源的温度。

2.根据权利要求1所述的一种原子层沉积设备的定温定量输气装置,其特征在于,所述定温定量输气装置还包括第三控温组件(6)；

所述第二控温组件(7)包括固定板(25)和嵌至于所述固定板(25)的第一加热件(24)；

所述第三控温组件(6)配置于所述固定板(25)，用以将所述第一输气组件(3)和所述第二输气组件(4)固定于所述固定板(25)；

所述固定板(25)和/或所述第三控温组件(6)设置有包裹槽；至少部分所述第一输气组件(3)和至少部分所述第二输气组件(4)能够嵌至于所述包裹槽。

3.根据权利要求2所述的一种原子层沉积设备的定温定量输气装置,其特征在于,所述第三控温组件(6)设置有供所述第一阀门(22)穿过的第一通孔(19)和供所述第二阀门(21)穿过的第二通孔(16)；

所述第三控温组件(6)包括第一固定座(20)、第二固定座(18)、第三固定座(17)和第四固定座(15)；所述第一固定座(20)和所述第二固定座(18)之间构造有所述第一通孔(19)；所述第三固定座(17)和所述第四固定座(15)之间构造有所述第二通孔(16)；

所述第二固定座(18)和所述第三固定座(17)配置于所述第一阀门(22)和所述第二阀门(21)之间；所述第二固定座(18)朝向所述第三固定座(17)的一侧设置有第一倾斜端面(29)；所述第三固定座(17)朝向所述第二固定座(18)的一侧设置有第二倾斜端面(30)；所述第一倾斜端面(29)和所述第二倾斜端面(30)相适配。

4.根据权利要求3所述的一种原子层沉积设备的定温定量输气装置,其特征在于,所述第三控温组件(6)还设置有供所述第一进气管(27)穿过的第三通孔(28)；

所述第三控温组件(6)还包括第五固定座(14)和第六固定座(13)；所述第五固定座(14)和所述第六固定座(13)之间构造有所述第三通孔(28)；

所述第四固定座(15)和所述第五固定座(14)配置于所述第二通孔(16)和所述第三通孔(28)之间；所述第四固定座(15)朝向所述第五固定座(14)的一侧设置有第三倾斜端面(32)；所述第五固定座(14)朝向所述第四固定座(15)的一侧设置有第四倾斜端面(31)；所述第三倾斜端面(32)和所述第四倾斜端面(31)相适配。

5.根据权利要求2所述的一种原子层沉积设备的定温定量输气装置,其特征在于,所述第一加热件(24)为加热棒；定温定量输气装置至少包含两个第二输气组件(4)；至少两个第二输气组件(4)的定量腔室(26)沿着所述加热棒的轴线方向平行设置；

所述第一进气管(27)设置有用以连接所述第二阀门(21)的第一进气段(33)和用以连通源瓶的第二进气段(34)；所述第一进气段(33)和所述第二进气段(34)垂直；所述第一进气段(33)和所述定量腔室(26)同轴设置，且嵌至于所述包裹槽。