[发明专利]一种制备具有铁电性的AB堆垛的多层氮化硼薄膜的方法有效
| 申请号： | 202211037683.9 | 申请日： | 2022-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN115261978B | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 万能;施辉;王明渊;田明;束俊鹏;陈若望 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | C30B23/02 | 分类号： | C30B23/02;C30B29/38;C30B29/52;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京瑞弘专利商标事务所(普通合伙) 32249 | 代理人： | 沈廉 |
| 地址： | 211102 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通过化学气相沉积法制备具有铁电性的AB/ABC堆垛的多层氮化硼薄膜的方法，通过磁控溅射制备出（111）晶面的镍单晶薄膜，再沉积一层铁，获得（111）晶面的铁镍合金薄膜；将该薄膜作为催化衬底，置于石英舟中，放在管式炉中的恒温区域；以氨硼烷作为前驱体，置于钽舟中，再将钽舟放在所述石英舟上风口位置；对铁镍合金薄膜衬底进行退火处理；将钽舟放在石英管内，加热带裹在钽舟位置处的石英管管壁外，加热至100‑120℃，铁镍合金薄膜衬底上开始生长多层氮化硼；待管式炉降至室温后，取出具有铁电性的AB/ABC堆垛的多层氮化硼薄膜。通过此方法，最终能够实现大面积连续、单晶的、AB堆垛的、具有铁电性的氮化硼薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 具有 铁电性 ab 堆垛 多层 氮化 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
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