[发明专利]气体压力探测装置及沉积设备在审
| 申请号： | 202211034485.7 | 申请日： | 2022-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN115389096A | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 荒见淳一;黎微明 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L15/00 | 分类号： | G01L15/00;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 叶明明 |
| 地址： | 214028 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请实施例是关于气体压力探测装置及沉积设备。根据一实施例的气体压力探测装置包括主体、采样管路及第一端口。采样管路设置于主体内且经配置以收集待被探测的反应区域内的气体。第一端口设置于采样管路且经配置以与第一传感器连接以测量气体的压力。本申请实施例提供的气体压力探测装置不仅能够探测沉积设备中的反应区域内的气体压力，还避免影响反应区域内的工艺处理对象的产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 压力 探测 装置 沉积 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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