[发明专利]气体压力探测装置及沉积设备

权利要求书

1.一种气体压力探测装置，其包括：

主体；

采样管路，其设置于所述主体内且经配置以收集待被探测的反应区域内的气体；及

第一端口，其设置于所述采样管路，所述第一端口经配置以与第一传感器连接以测量气体的压力。

2.根据权利要求1所述的气体压力探测装置，其中所述主体经配置以可拆卸的方式连接至所述待被探测的反应区域所在的设备。

3.根据权利要求1所述的气体压力探测装置，其进一步包括设置于所述采样管路的第二端口及经配置以连接至所述第二端口的吹扫机构，其中所述第二端口设置于所述采样管路的尾部。

4.根据权利要求3所述的气体压力探测装置，其中所述吹扫机构包括经配置以提供吹扫气体的吹扫元件。

5.根据权利要求4所述的气体压力探测装置，其中所述吹扫机构还包括阀元件，其经配置以控制所述吹扫气体的流量。

6.根据权利要求4所述的气体压力探测装置，其中所述吹扫气体为非活性气体。

7.根据权利要求4所述的气体压力探测装置，其中所述吹扫气体的佩克莱数至少为1。

8.根据权利要求4所述的气体压力探测装置，其中所述吹扫气体的佩克莱数的范围为1至2。

9.根据权利要求1所述的气体压力探测装置，其中所述主体具有开口，所述采样管路的第三端口设置于所述开口中，且所述待被探测的反应区域内的气体经由所述第三端口进入所述采样管路。

10.根据权利要求9所述的气体压力探测装置，其进一步包括第一部分，其经配置以密封地连接至所述主体，且所述第一部分与所述采样管路的所述第三端口连通。

11.根据权利要求10所述的气体压力探测装置，其中所述第一部分的材料为蓝宝石。

12.根据权利要求10所述的气体压力探测装置，其中所述第一部分经配置以设置于所述待被探测的反应区域所在的设备内，且所述第一部分包括经配置以设置于所述待被探测的反应区域内的端部。

13.根据权利要求1所述的气体压力探测装置，其进一步包括设置于所述采样管路的第四端口及经配置以连接至所述第四端口的第二传感器。

14.根据权利要求13所述的气体压力探测装置，其中所述第二传感器经配置以测量所述气体的压力，且所述第二传感器与所述第一传感器具有不同的测量精度和/或量程。

15.根据权利要求1所述的气体压力探测装置，其进一步包括设置于所述采样管路的第五端口及经配置以连接至所述第五端口的安全构件。

16.根据权利要求15所述的气体压力探测装置，其中所述安全构件经配置以感测所述采样管路的内部的气体的压力变化。

17.根据权利要求15所述的气体压力探测装置，其中所述安全构件经配置以在感测到所述采样管路的内部的气体的压力变化超过预定值时关闭所述气体压力探测装置及所述待被探测的反应区域所在的设备。

18.根据权利要求1所述的气体压力探测装置，其进一步包括设置于所述采样管路的维护端口。

19.根据权利要求1所述的气体压力探测装置，其中所述采样管路具有第一区段和与所述第一区段垂直的第二区段，所述第一区段与所述第二区段的连接部分为弧状。