[发明专利]光学探针及其制作方法、芯片测试方法在审
| 申请号： | 202211013558.4 | 申请日： | 2022-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN115436678A | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 高嘉卿;冯朋;胡晓;王磊;肖希;熊雨洁;范雨龙;周旭 | 申请（专利权）人： | 武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/07 | 分类号： | G01R1/07;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/28;G02B6/25;G02B6/26;G02B6/32 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 姚文娴;徐川 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开实施例公开了一种光学探针及其制作方法、芯片测试方法，其中，所述光学探针包括：光纤阵列，包括至少一个光纤，所述光纤的第一端具有斜面；所述斜面用于将从所述光纤的第二端射入的光信号进行反射，反射的光信号从所述光纤的侧面射出；或者，用于将从所述光纤的所述侧面射入的光信号进行反射，经由所述光纤的第二端射出；所述第一端和所述第二端为沿所述光纤延伸方向相对设置的两端；以及至少一个透镜，每一透镜对应一个光纤，所述透镜位于相应所述光纤的所述侧面，用于对待射入所述侧面的光信号进行会聚。 | ||
| 搜索关键词： | 光学 探针 及其 制作方法 芯片 测试 方法 | ||
【主权项】：
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