[发明专利]一种金属氧化物蚀刻液组合物及蚀刻工艺在审
| 申请号： | 202211008027.6 | 申请日： | 2022-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN115305090A | 公开（公告）日： | 2022-11-08 |
| 发明（设计）人： | 周瑞平;张东升 | 申请（专利权）人： | 江苏佰元鸿金属科技有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;C09K13/04;H01L21/467 |
| 代理公司： | 南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙) 32326 | 代理人： | 缪友建 |
| 地址： | 224200 江苏省盐城市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种金属氧化物蚀刻液组合物及蚀刻工艺，涉及金属蚀刻技术领域。本发明在制备金属氧化物蚀刻液组合物时，先将五甲基二硅氧烷和八甲基环四硅氧烷反应制得单端含氢聚硅氧烷，将单端含氢聚硅氧烷和对氨基苯乙烯反应制得单端氨基聚硅氧烷，将聚乙二醇单甲醚依次和丁二酸酐、氯化亚砜反应制得酰化聚乙二醇单甲醚，将单端氨基聚硅氧烷和酰化聚乙二醇单甲醚反应制得单端聚醚基聚硅氧烷，将单端聚醚基聚硅氧烷、有机酸、无机酸盐、唑类化合物、醇类化合物、乙醇胺和纯水混合并调节pH制得金属氧化物蚀刻液组合物。本发明制备的金属氧化物蚀刻液组合物具有优异的蚀刻效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金属 氧化物 蚀刻 组合 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏佰元鸿金属科技有限公司，未经江苏佰元鸿金属科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202211008027.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
