[发明专利]超声换能器及其制作方法在审
| 申请号： | 202210977124.X | 申请日： | 2022-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN115285928A | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 王光华;李加东;胡益民;苗斌;张玉超;周红宇;张士钦 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B06B1/06;B81C1/00 |
| 代理公司： | 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 | 代理人： | 仲崇明 |
| 地址： | 215123 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超声换能器及其制作方法，该超声换能器包括具有空腔的衬底、设置于衬底上的下电极层，以及依次形成于下电极层上的压电层和上电极层，所述空腔于开口位置的内径大于空腔靠近所述下电极层位置的内径。本发明通过MEMS工艺在超声换能器的衬底通过湿法腐蚀，加工出一个倒梯形号筒结构，这种结构可以使超声换能器发出的声波指向性更好，主瓣的声压级更高，束声效果更好，易于超声换能器器件与后续电路的集成化。而且空腔通过湿法腐蚀加工而成，选择性好，便于加工斜面，设备简单便宜，腐蚀速率高，可批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 超声 换能器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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