[发明专利]超声换能器及其制作方法

权利要求书

1.一种超声换能器，其特征在于，包括具有空腔的衬底、设置于衬底上的下电极层，以及依次形成于下电极层上的压电层和上电极层，

所述空腔于开口位置的内径大于空腔靠近所述下电极层位置的内径。

2.如权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，所述空腔的内径自开口位置向所述下电极层的方向渐性减小。

3.如权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，所述空腔的截面为圆形或多边形。

4.如权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，还包括形成于所述衬底和下电极层之间的支撑层。

5.如权利要求4所述的超声换能器，其特征在于，所述支撑层包括依次形成于衬底和下电极层之间的第一支撑层和第二支撑层，

所述第一支撑层的材料采用氧化硅，所述第二支撑层的材料采用硅。

6.如权利要求1所述的超声换能器，其特征在于，所述压电层采用氮化铝、氧化锌或锆钛酸铅压电陶瓷；

所述上电极层采用钼、铂、铝或锡；

所述下电极层采用金、铂、铝或锡。

7.一种超声换能器的制作方法，其特征在于，包括：

提供一衬底，该衬底具有相对的第一表面和第二表面；

在衬底的第一表面侧，依次制作下电极层和压电层；

刻蚀所述的压电层并暴露出所述下电极层，并对所述下电极层图案化；

在压电层上制作上电极层；

采用湿法腐蚀在衬底的第二表面形成空腔，所述空腔于开口位置的内径大于空腔靠近所述下电极层位置的内径。

8.根据权利要求7所述的超声换能器的制作方法，其特征在于，所述空腔的内径自开口位置向所述下电极层的方向渐性减小。

9.根据权利要求7所述的超声换能器的制作方法，其特征在于，制作下电极层和压电层的步骤之前还包括：

在衬底的第一表面依次制作第一支撑层和第二支撑层，所述第一支撑层的材料采用氧化硅，所述第二支撑层的材料采用硅。

10.根据权利要求7所述的超声换能器的制作方法，其特征在于，所述压电层采用氮化铝、氧化锌或锆钛酸铅压电陶瓷；

所述上电极层采用钼、铂、铝或锡；

所述下电极层采用金、铂、铝或锡。