[发明专利]一种氮化物LED的制备与无损界面分离方法有效
| 申请号： | 202210914235.6 | 申请日： | 2022-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN114975700B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 王新强;刘放;陈兆营;郭昱成;盛博文;李铎;沈波 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/32;H01L27/15 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氮化物LED的制备与无损界面分离方法。本发明采用原子辐照技术，改性在透明衬底上的二维原子晶体层，得到辐照区，在改性后的二维原子晶体层制备氮化物LED结构，再通过金属功能层固化支撑基板，从透明衬底背面入射可见光激光，定向破坏二维原子晶体层的辐照区，得到从透明衬底上分离出来的氮化物LED结构、金属功能层和支撑基板的整体结构；本发明能够实现界面无损分离，透明衬底的重复使用，与氮化物LED和Micro‑LED的外延与加工工艺兼容，应用于晶圆级氮化物LED和微米级Micro‑LED阵列的制造与分离，无需预置氮化物牺牲层，无需额外磨抛工艺；本发明节能环保、工艺简单并适于批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化物 led 制备 无损 界面 分离 方法 | ||
【主权项】：
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