[发明专利]具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪在审
| 申请号： | 202210909420.6 | 申请日： | 2022-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN115683077A | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | D·普拉蒂;L·G·法罗尼;L·奎利诺尼 | 申请（专利权）人： | 意法半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01C19/5649 | 分类号： | G01C19/5649;G01C19/5656;G01C19/5663 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 丁君军 |
| 地址： | 意大利阿格*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪。该MEMS陀螺仪由衬底、第一质量块和第二质量块形成，其中第一质量块和第二质量块悬置于衬底上方，并且在静止状态下在限定第一方向和横向于第一方向的第二方向的延伸平面中延伸。该MEMS陀螺仪还具有：驱动结构，被耦合至第一质量块，并且被配置为在使用中使第一质量块在第一方向上移动；以及弹性耦合结构，在第一质量块与第二质量块之间延伸，并且被配置为将第一质量块在第一方向上的移动与第二质量块在第二方向上的移动耦合。弹性耦合结构具有第一部分和第二部分，第一部分具有第一刚度，第二部分具有大于第一刚度的第二刚度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 正交 误差 抑制 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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