[发明专利]具有改进的正交误差抑制的MEMS陀螺仪

权利要求书

1.一种设备，包括：

微机电系统MEMS陀螺仪，包括：

衬底；

第一质量块和第二质量块，所述第一质量块和所述第二质量块悬置于所述衬底上方，并且在静止状态下在延伸平面中延伸，所述延伸衬底限定第一方向和横向于所述第一方向的第二方向；

驱动结构，被耦合至所述第一质量块，并且被配置为在使用中使所述第一质量块在所述第一方向上移动；以及

弹性耦合结构，在所述第一质量块与所述第二质量块之间延伸，并且被配置为将所述第一质量块在所述第一方向上的移动与所述第二质量块在所述第二方向上的移动耦合，

所述弹性耦合结构包括具有第一刚度的第一部分和具有第二刚度的第二部分，所述第二刚度大于所述第一刚度。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述弹性耦合结构的所述第一部分在所述第一方向和所述第二方向上延伸，并且其中在所述延伸平面中，所述第二部分在第三方向上延伸，所述第三方向横向于所述第一方向和所述第二方向。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述弹性耦合结构被配置为响应于所述第一质量块在所述第一方向上的移动，使所述第二质量块在所述第二方向上移动。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述第一方向垂直于所述第二方向。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述第二刚度与所述第一刚度之间的比率被包括在10与100之间。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述弹性耦合结构的所述第一部分包括第一臂和第二臂，所述第一臂被耦合至所述第一质量块，所述第二臂被耦合至所述第二质量块，所述弹性耦合结构的所述第二部分在所述弹性耦合结构的所述第一部分的所述第一臂与所述第二臂之间延伸。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述弹性耦合结构的所述第一部分具有接合端、并且由第一臂和第二臂形成，所述第一臂和所述第二臂从所述接合端延伸，并且被耦合至所述弹性耦合结构的所述第二部分。

8.根据权利要求6所述的设备，其中所述第一臂在所述第一方向上延伸，并且所述第二臂在所述第二方向上延伸。

9.根据权利要求6所述的设备，其中所述弹性耦合结构的所述第二部分包括第一连接臂和第二连接臂，所述第一连接臂和所述第二连接臂在所述延伸平面中在第三方向上延伸，所述第三方向横向于所述第一方向和所述第二方向，所述第一连接臂从所述弹性耦合结构的所述第一部分的所述第一臂延伸，所述第二连接臂从所述弹性耦合结构的所述第一部分的所述第二臂延伸。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述弹性耦合结构的所述第一部分的尺寸小于所述弹性耦合结构的所述第二部分的尺寸。

11.根据权利要求1所述的设备，还包括检测结构，所述检测结构被耦合至所述第二质量块，并且被配置为在使用中在所述MEMS陀螺仪围绕第四方向旋转的情况下，检测所述第二质量块在所述第一方向上的移动，所述第四方向垂直于所述第一方向和所述第二方向。

12.根据权利要求1所述的设备，还包括第一锚定区域和第二锚定区域、以及第一弯曲部和第二弯曲部，所述第一锚定区域和所述第二锚定区域被固定至所述衬底，所述第一弯曲部在所述第一质量块与所述第一锚定区域之间延伸，所述第二弯曲部在所述第二质量块与所述第二锚定区域之间延伸。