[发明专利]陶瓷电容压力传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202210879125.0 | 申请日： | 2022-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN114942091A | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 赫鑫;肖滨;李刚 | 申请（专利权）人： | 昆山灵科传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12;C04B41/88;C04B37/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 高翠花 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 该发明公开了一种陶瓷电容压力传感器及其制备方法，所述制备方法包括：形成第一生瓷板；于第一生瓷板表面形成第一电容电极；将第一生瓷板和第一电容电极进行烧结以形成第一基板；形成第二生瓷板；于第二生瓷板表面形成第二电容电极；将第二生瓷板和第二电容电极进行烧结以形成第二基板；采用玻璃浆料烧结连接第一基板和第二基板，第一基板和第二基板内形成封闭腔，第一电容电极和第二电容电极均位于封闭腔内且第一电容电极和第二电容电极相对设置。根据本发明实施例的陶瓷电容压力传感器的制备方法，能够减少至少两次高温烧结，过程简单且能够减少能源浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 陶瓷 电容 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山灵科传感技术有限公司，未经昆山灵科传感技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210879125.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
