[发明专利]陶瓷电容压力传感器及其制备方法

权利要求书

1.一种陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，包括：

形成第一生瓷板；

于所述第一生瓷板表面形成第一电容电极；

将所述第一生瓷板和所述第一电容电极进行烧结以形成第一基板；

形成第二生瓷板；

于所述第二生瓷板表面形成第二电容电极；

将所述第二生瓷板和所述第二电容电极进行烧结以形成第二基板；

采用玻璃浆料烧结连接所述第一基板和所述第二基板，所述第一基板和所述第二基板内形成封闭腔，所述第一电容电极和所述第二电容电极均位于所述封闭腔内且所述第一电容电极和所述第二电容电极相对设置。

2.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，形成所述第一生瓷板的步骤包括：

采用玻璃陶瓷粉和有机粘接剂混合形成浆体；

将所述浆体浇注在移动载带上，流延成型以形成生瓷带；

将所述生瓷带进行冲孔切割以制备形成所述第一生瓷板。

3.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，采用丝网印刷形成所述第一电容电极和所述第二电容电极。

4.根据权利要求3所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，采用325目的网板进行丝网印刷。

5.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，所述第一电容电极和所述第二电容电极为铂金材料。

6.根据权利要求1所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，采用玻璃浆料烧结连接将所述第一基板和所述第二基板的步骤包括：

采用丝网印刷将所述玻璃浆料印刷在所述第一基板围绕所述第一电容电极的表面并进行加热烘干；

采用丝网印刷将所述玻璃浆料印刷在所述第二基板围绕所述第二电容电极的表面并进行加热烘干；

采用治具将所述第一基板和所述第二基板进行压合并烧结。

7.根据权利要求6所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，所述玻璃浆料中混合有玻璃微柱。

8.根据权利要求6所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法，其特征在于，采用165目的网板印刷所述玻璃浆料。

9.一种陶瓷电容压力传感器，其特征在于，所述陶瓷电容压力传感器采用权利要求1-8中任一项所述的陶瓷电容压力传感器的制备方法制备形成，所述陶瓷电容压力传感器包括：

第一基板，所述第一基板包括第一基底和第一电容电极；

第二基板，所述第二基板包括第二基底和第二电容电极，所述第一基底和所述第二基底采用玻璃基板键合连接，以限定出封闭腔，所述第一电容电极和所述第二电容电极均位于所述封闭腔内且相对设置。