[发明专利]一种超声换能器及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种超声换能器及其制备方法和应用。本发明的超声换能器的组成包括依次设置的柔性衬底、薄膜晶体管、压电触觉传感器和电容式微加工超声换能器。本发明的超声换能器的制备方法包括以下步骤：在柔性衬底上依次制备薄膜晶体管、压电触觉传感器和电容式微加工超声换能器，即得超声换能器。本发明的超声换能器兼具超声成像和触觉传感功能，具有超声驱动电压低、信噪比高、灵敏度高、可寻址阵列化、柔性可弯曲等优点，适合进行大规模推广应用。