[发明专利]用于蚀刻工艺的补偿方法、补偿系统及深度学习系统

摘要

本发明提出一种用于蚀刻工艺的补偿方法、补偿系统及深度学习系统，该补偿方法包括：拍摄经一蚀刻工艺的一工件，以获得一蚀刻影像；根据该蚀刻影像量测该工件，以获得该工件的一线路量测信息；根据该线路量测信息，计算一蚀刻补偿信息；依据该蚀刻补偿信息产生欲成像的一曝光影像；以及传送欲成像的该曝光影像至一曝光装置，以更新该蚀刻工艺的曝光底片。本发明可以进行全部及全面性的量测，以此通过全自动快速补偿值设定以及全自动生产中间监控以及实时回馈调整的功能，达到快速进入量产、快速达到最佳补偿值设定、智能生产中监控以及提升及稳定质量的效果。