[发明专利]一种多晶硅生产工艺的余热回收系统及工艺在审
| 申请号： | 202210820685.9 | 申请日： | 2022-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN115072725A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 郭宏新;吴维涛;陈飞;何松;袁文兵;刘丰;沈恒 | 申请（专利权）人： | 江苏中圣高科技产业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;F28D7/14 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 瞿网兰;夏平 |
| 地址： | 211112 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种多晶硅生产工艺的余热回收系统及工艺，其特征在于，所述的系统包括汽化器（1）、混合器（2）、过热器（3）、多晶硅还原炉（4）以及撬装余热回收装置（9），所述汽化器（1）的管程进口通过管道与三氯氢硅气源（5）联通，所述汽化器（1）的壳程进口与所述过热器（3）的壳程出口联通，所述混合器（2）的进口与所述汽化器（1）的管程出口通过第一氢气管道（6）与氢气气源（7）联通；所述过热器（3）的管程进口与所述混合器（2）的出口联通，所述过热器（3）的管程出口与所述多晶硅还原炉（4）的一个进口相联通，所述多晶硅还原炉（4）的另一进口通过第二氢气管道（8）与氢气气源（7）相联通，所述多晶硅还原炉（4）的一个出口与所述撬装余热回收装置（9）的内管进口联通。本发明有利于降低能耗和生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 生产工艺 余热 回收 系统 工艺 | ||
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- 2022-07-13 - 2022-09-20 - C01B33/03
- 一种多晶硅生产工艺的余热回收系统及工艺，其特征在于，所述的系统包括汽化器（1）、混合器（2）、过热器（3）、多晶硅还原炉（4）以及撬装余热回收装置（9），所述汽化器（1）的管程进口通过管道与三氯氢硅气源（5）联通，所述汽化器（1）的壳程进口与所述过热器（3）的壳程出口联通，所述混合器（2）的进口与所述汽化器（1）的管程出口通过第一氢气管道（6）与氢气气源（7）联通；所述过热器（3）的管程进口与所述混合器（2）的出口联通，所述过热器（3）的管程出口与所述多晶硅还原炉（4）的一个进口相联通，所述多晶硅还原炉（4）的另一进口通过第二氢气管道（8）与氢气气源（7）相联通，所述多晶硅还原炉（4）的一个出口与所述撬装余热回收装置（9）的内管进口联通。本发明有利于降低能耗和生产成本。
- 一种硅芯搭接结构-202221286528.6
- 刘朝轩 - 洛阳市自动化研究所有限公司
- 2022-05-27 - 2022-08-19 - C01B33/03
- 一种硅芯搭接结构，涉及人工晶体制备领域，本实用新型将U型横硅芯（1）开口端两直线段的下端头与两根竖硅芯（4）的上端头搭接，将原有直线形横硅芯与竖硅芯十字交叉的搭接方式更改为直线形搭接方式，较传统的搭接方式降低了搭接点的高度，使搭接点尽可能的离开炉室内温度的最高部位，并使搭接点所处的位置更加靠近炉底的进气口，进而实现减少搭接点部位菜花料的形成，有效的提高了沉积硅棒的质量及多晶硅生产企业的市场竞争力等，适合大范围的推广和应用。
- 一种硅芯搭接结构及其搭接方法-202210583890.8
- 刘朝轩 - 洛阳市自动化研究所有限公司
- 2022-05-27 - 2022-07-15 - C01B33/03
- 一种硅芯搭接结构及其搭接方法，涉及人工晶体制备领域，本发明将U型横硅芯（1）开口端两直线段的下端头与两根竖硅芯（4）的上端头搭接，将原有直线形横硅芯与竖硅芯十字交叉的搭接方式更改为直线形搭接方式，较传统的搭接方式降低了搭接点的高度，使搭接点尽可能的离开炉室内温度的最高部位，并使搭接点所处的位置更加靠近炉底的进气口，进而实现减少搭接点部位菜花料的形成，有效的提高了沉积硅棒的质量及多晶硅生产企业的市场竞争力等，适合大范围的推广和应用。
- 一种基于硅快速合成技术的单晶硅层高效回收工艺-202010586038.7
- 吴剑荣 - 吴剑荣
- 2020-06-24 - 2022-05-24 - C01B33/03
- 本发明公开了一种基于硅快速合成技术的单晶硅层高效回收工艺，属于半导体技术领域，一种基于硅快速合成技术的单晶硅层高效回收工艺，本方案通过将水和双载传递动子内的二氧化碳同时做为热量载体，随着双载传递动子的上下移动，将热量传递给热源收集箱内的水，既能提高对能量的可持续利用，同时细沙内的水积累到一定的程度滴落后，被已经下沉的双载传递动子包括其表面的变色硅胶吸收，对液态水的回流进行限制，减少液态水的再次进入浓盐酸内，并随着双载传递动子在反应载板和过滤网框之间持续的上下移动，逐渐降低浓盐酸的含水量会，从而提高了硅和氯化氢合成为三氯化硅的效率。
- 一种采用多组硅芯组件组合生长多晶硅棒的方法-202210174297.8
- 刘朝轩 - 洛阳市自动化研究所有限公司
- 2022-02-25 - 2022-05-10 - C01B33/03
- 一种采用多组硅芯组件组合生长多晶硅棒的方法，涉及人工晶体领域，本发明无需直接拉制大直径硅芯，只需拉制常规直径的硅芯，然后由硅芯组合成硅芯组件，通过将至少两组硅芯组件并列组合后形成“Π”形的整体导电回路，在实现增大整体导电回路表面积的同时，还达到了多晶硅棒快速生长的技术诉求，本发明具有操作简单、生产效率高以及使用成本低等特点，特别适合在多晶硅领域大面积推广和应用。
- 一种太阳能级多晶硅生产装置-202011234230.6
- 张建敏 - 内蒙古东立光伏电子有限公司
- 2020-11-07 - 2022-04-05 - C01B33/03
- 本发明公开了一种太阳能级多晶硅生产装置，涉及太阳能生产设备技术领域，包括还原炉，还原炉的顶部和底部分别设置有炉盖和基座，炉盖的顶部设置有视镜和出口，基座的顶部安装有多组硅棒，硅棒的底部安装有电加热器，还原炉的内壁设置有容腔，容腔的一侧连接有进气环管，进气环管的底部连接有多组盘管。本发明通过从进料口排入的SiHCl
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