[发明专利]一种金刚石补偿性掺杂方法有效
| 申请号： | 202210782954.7 | 申请日： | 2022-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN115369485B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 王海燕 | 申请（专利权）人： | 天津美力芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/02;C30B25/20;C30B33/02 |
| 代理公司： | 天津铂茂专利代理事务所(普通合伙) 12241 | 代理人： | 任真真 |
| 地址： | 301700 天津市武清*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金刚石补偿性掺杂方法，是通过控制在金刚石基片生长过程中，加入氮和硅元素，以促进金刚石基片表面（100）晶向基元的形成，同时修复金刚石基片表面缺陷，并且在合成得到金刚石单晶后，进一步对该金刚石晶体进行退火处理，以补偿金刚石晶体的缺陷，同时有效的调整晶体内部的能态结构，从而使得本发明能够获得高品质的金刚石晶体，另外，由于本发明仅需要在合成金刚石过程中加入含氮和含硅元素，同时对所合成的金刚石晶体进行退火处理，因此本发明制备金刚石晶体的方法简单易行，且能够以高成品率、快速生产高纯度的金刚石，从而有效解决了现有不能便捷地生产高纯度的金刚石的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 补偿性 掺杂 方法 | ||
【主权项】：
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