[发明专利]一种射频电源和半导体工艺设备在审
| 申请号： | 202210764470.X | 申请日： | 2022-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN115206763A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 孙东卓;李光健;陈光富 | 申请（专利权）人： | 西安北方华创微电子装备有限公司;北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 710000 陕西省西安市高新*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种射频电源和一种半导体工艺设备，该射频电源包括射频信号输入模块，可变功率合成匹配网络，固定阻抗变换模块，双定向耦合器采样模块，闭环控制模块和动态可变负载；当动态可变负载的实时阻抗值出现严重偏离预设目标阻抗值时，通过闭环控制模块控制可变功率合成匹配网络来调节输出端阻抗值，使输出端阻抗值经过固定阻抗变换模块的阻抗差值变换后，把严重偏离预设阻抗的动态可变负载调整到预设目标阻抗值，使该预设目标阻抗值与固定阻抗变换模块的输出端阻抗值形成共轭匹配关系；本发明解决了射频电源与动态可变负载出现阻抗严重失配情况时，产生大反射功率返回到射频电源内部，导致射频电源内部的主要器件出现烧毁等故障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 半导体 工艺设备 | ||
【主权项】：
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