[发明专利]用于化学气相沉积的气态前躯物的热裂解方法及其装置

摘要

本发明是一种用于化学气相沉积的气态前躯物的热裂解方法及其装置，该装置包含有一腔体、一导气管以及一加热装置，该导气管位于该腔体的容室内且具有一入口与一出口，据以执行如后的方法：步骤(a)，加热该腔体至250℃～650℃，且将该导气管抽气至真空；步骤(b)，将气态前躯物由该入口注入，该导气管呈弯曲迂回状，使该气态前躯物能在该导气管中充分受热而裂解为离子态或原子态前躯物；以及步骤(c)，该离子态或原子态前躯物由该出口输出，通过该导气管的弯曲迂回状，使该气态前躯物能充分热裂解成离子(或原子)态前躯物，不仅可增加裂解效率、节省能源更能加速工艺。