[发明专利]电容器及其制造方法在审
| 申请号： | 202210722000.7 | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115084103A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 刘彦;梁毅 | 申请（专利权）人： | 江美半导体（广州）有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/64 | 分类号： | H01L23/64;H01L49/02 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 511455 广东省广州市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电容器及其制造方法，包括电容单元，所述电容单元具有相对的第一侧和第二侧，在所述电容单元的第一侧，位于偶数层的所述第二导电层与位于其下一层奇数层的所述第二导电层的侧壁对齐，并暴露出位于其下一层偶数层的所述第二导电层的部分上表面；和/或，在所述电容单元的第二侧，位于奇数层的所述第二导电层与位于其下一层偶数层的所述第二导电层的侧壁对齐，并暴露出位于其下一层奇数层的所述第二导电层的部分上表面，由此可以减少光罩的使用，降低制造成本；或者在光罩数量不减少的情况下可以暴露出更多层第二导电层以引出接线，提高电容器的电容密度；或者可以降低对于后续形成的接触导电结构的工艺要求，提高电容器的可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 电容器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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