[发明专利]具有分段背板的微机电系统（MEMS）振动传感器在审
| 申请号： | 202210693298.3 | 申请日： | 2022-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN115494263A | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | S·戈斯瓦米;G·洛伦茨;C·布雷特豪尔;M·F·赫曼 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 德国诺伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开的各实施例总体上涉及具有分段背板的微机电系统(MEMS)振动传感器。一种MEMS振动传感器包括具有惯性质量的膜，该膜被固定到MEMS振动传感器的保持器；以及与膜隔开的分段背板，分段背板被固定到保持器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 分段 背板 微机 系统 mems 振动 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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