[发明专利]高纯度三乙基锑及其制备方法在审

专利信息
申请号: 202210679743.0 申请日: 2022-06-15
公开(公告)号: CN114989221A 公开(公告)日: 2022-09-02
发明(设计)人: 邓革革;万欣;董礼;徐耀中;刘子伟;吴浩 申请(专利权)人: 江苏南大光电材料股份有限公司
主分类号: C07F9/90 分类号: C07F9/90
代理公司: 苏州三英知识产权代理有限公司 32412 代理人: 仲崇明
地址: 215000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种高纯度三乙基锑的及其制备方法,所述高纯度三乙基锑的制备方法包括以下步骤:S1、获得格氏试剂以及三氯化锑的四氢呋喃溶液;S2、在惰性气体的保护下,向格氏试剂中滴加三氯化锑的四氢呋喃溶液,蒸馏后得到三乙基锑粗品;以及S3、对三乙基锑粗品减压蒸馏,得到高纯度三乙基锑。本发明的高纯度三乙基锑的制备方法制得的三乙基锑在纯度、颗粒度上均可以较好满足半导体行业的产品要求且成本较低,操作简便,适合工业化规模生产。
搜索关键词: 纯度 乙基 及其 制备 方法
【主权项】:
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