[发明专利]轻离轴数字全息检测装置在审
| 申请号： | 202210661940.X | 申请日： | 2022-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN115930773A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 吴旭辉;张沐安 | 申请（专利权）人： | 中国计量大学 |
| 主分类号： | G01B9/04 | 分类号： | G01B9/04;G01B9/02;G01B9/02015 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种基于轻离轴两步相减法的数字全息显微检测装置，检测装置元件包括620nm的LED光源、显微镜和小孔光阑构成的准直扩束系统、偏振元件、第一会聚透镜、分光棱镜、平面反射镜、显微物镜1、第二透镜、显微物镜2、光强衰减片、载物台、机械式微位移台。该方法用分光棱镜将入射光分成参考光和物光；参考光照射平面反射镜上被反射，物光照射焦点放置的被测物上并被反射。经过会聚透镜后CCD采集数据传输到计算机中计算获得物体相位分布。计算时分别拍摄物体全息图与背景全息图以减去外界噪声和显微物镜带来的相位畸变。该装置兼顾CCD视场利用率、测量实时性、系统稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 轻离轴 数字 全息 检测 装置 | ||
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- 本发明属于光学成像与检测技术领域，公开了一种三波长光纤线阵列差分共焦显微探测装置和方法，装置包括：三波长光源，三波长光源发出的包括三个不同波长的照明光束经第一光纤阵列法兰入射到光纤阵列耦合器后形成狭缝照明光束入射到色散物镜；色散物镜用于对各个波长的狭缝照明光束进行聚焦，形成三条共面的线测量光束并照射在被测样品表面上形成测量相交线；从被测样品表面反射的线测量光束经色散物镜后沿原光路返回至光纤阵列耦合器，然后经第二光纤阵列法兰后入射至探测模块，得到被测样品在三个不同波长下的线共焦响应强度数据，进而计算得到被测样品表面的位移信息。本发明测量精度高、测量速度快。
- 三波长光纤点差分共焦显微探测方法与装置-202111259185.4
- 刘振国;刘林仙 - 山西大学
- 2021-10-28 - 2022-02-01 - G01B9/04
- 本发明属于光学成像与检测技术领域，公开了一种三波长光纤点差分共焦显微探测方法与装置，装置包括三波长光源、光纤耦合器、色散物镜和探测模块；三波长光源发出的包括三个不同波长的照明光束经光纤耦合器后入射到色散物镜；色散物镜用于将各个波长的光聚焦在色散物镜光轴上的不同位置处，形成测量光束照射在被测样品表面上；从被测样品表面反射的测量光束经色散物镜后沿原光路返回至光纤耦合器，经光纤耦合器后入射至探测模块，得到照明光束在三个不同波长下的共焦响应强度值，共焦响应强度值用于计算得到被测样品表面的位移信息。本发明具有信噪比高、测量速度快、结构简单、装配调整简单等优点。
- 三波长线差分共焦显微探测方法与装置-202111259194.3
- 刘林仙;冯江涛 - 山西大学
- 2021-10-28 - 2022-02-01 - G01B9/04
- 本发明属于光学成像与检测技术领域，公开了一种三波长线差分共焦显微探测装置和方法，装置包括：三波长光源，三波长光源发出的包括三个不同波长的照明光束经照明狭缝后形成狭缝照明光束，然后经分光镜后入射到色散物镜；色散物镜用于对各个波长的狭缝照明光束进行聚焦，形成三条共面的线测量光束并照射在被测样品表面上形成测量相交线；从被测样品表面反射的线测量光束经色散物镜后沿原光路返回至分光镜，依次经分光镜和探测狭缝后入射至探测模块，得到被测样品在三个不同波长下的线共焦响应强度数据，进而计算得到被测样品表面的位移信息。本发明测量精度高、测量速度快。
- 三波长点差分共焦显微探测方法与装置-202111259206.2
- 冯江涛;刘林仙 - 山西大学
- 2021-10-28 - 2022-02-01 - G01B9/04
- 本发明属于光学成像与检测技术领域，公开了一种三波长点差分共焦显微探测方法与装置，装置包括三波长光源、照明针孔、分光镜、色散物镜、探测针孔和探测模块；三波长光源发出的三个波长的照明光束依次经照明针孔和分光镜后入射到色散物镜；色散物镜用于将各个波长的光聚焦在色散物镜光轴上的不同位置处，形成测量光束照射在被测样品表面上；从被测样品表面反射的测量光束经色散物镜沿原光路返回至分光镜，经分光镜后经探测针孔入射至探测模块，得到照明光束在各个波长下的共焦响应强度值，共焦响应强度值用于计算得到被测样品表面的位移信息。本发明具有信噪比高、测量速度快、结构简单、装配调整简单等优点。
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