[发明专利]半导体电子探测装置及扫描电子显微镜在审
| 申请号： | 202210612876.6 | 申请日： | 2022-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN115188650A | 公开（公告）日： | 2022-10-14 |
| 发明（设计）人： | 崔战伟;刘钧 | 申请（专利权）人： | 惠然科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京万思博知识产权代理有限公司 11694 | 代理人： | 秦贺余 |
| 地址： | 102600 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体电子探测装置及扫描电子显微镜，包括相互独立的两个以上的半导体探测单元，所述两个以上的半导体探测单元具有相同的探测面积，各个所述半导体探测单元的探测面在同一圆周内依次交替均匀分布。本发明提供的技术方案能够通过分时采集不同半导体探测单元接收到的电子信号，降低信号驻留时间对采样频率的制约，提高扫描电子显微镜的极限采样通量，实现采样效率的倍增。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 电子 探测 装置 扫描 电子显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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