[发明专利]一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法在审
| 申请号： | 202210570733.3 | 申请日： | 2022-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN115110056A | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 田修波;靳朋礼 | 申请（专利权）人： | 新铂科技（东莞）有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/04 | 分类号： | C23C16/04;C23C16/26;C23C16/50 |
| 代理公司： | 北京惟盛达知识产权代理事务所(普通合伙) 11855 | 代理人： | 杨青 |
| 地址： | 523718 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法，属于薄膜技术领域。其包括以下步骤：一、镀前清洗；二、管道安装抽真空；三、等离子体清洗；四、打底层沉积；五、掺Si‑DLC层沉积；六、DCL沉积；七、第六步与第五步交替进行，间隔时间10min，总时间120min。通过将管道作为阴极，两端真空室作为阳极，在管道内壁进行等离子体增强化学气相沉积形成Si打底层‑Si‑DLC层‑DCL层的耐腐蚀膜层。该方法操作简单，易于控制，改变沉积参数即可控制膜层性能，所得膜层具有膜层致密、耐盐腐蚀性能好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 管道 内壁 腐蚀 dlc 制备 方法 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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