[发明专利]一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法

权利要求书

1.一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、将管道内表面经喷砂处理后进行超声波清洗，干燥；

S2、将管道安装后进行抽真空，真空度达到1.0×10^-5～1.0×10^-3Pa；

S3、将Ar通入到管道内部进行等离子体增强化学气相沉积，气压2-20Pa，以管道为阴极，脉冲电压5000-10000V，频率100-3000Hz，脉宽5-1000us，时间30-200min；

S4、将Ar与四甲基硅烷同时通入管道内进行等离子体增强化学气相沉积，气压3-15Pa，以管道为阴极，脉冲电压5000-10000V，频率100-3000Hz，脉宽10-1000us，时间30-100min；

S5、将Ar、四甲基硅烷与乙炔同时通入管道内进行等离子体增强化学气相沉积，气压5-20Pa，以管道为阴极，脉冲电压3000-10000V，频率100-3000Hz，脉宽10-1000us，时间10-60min；

S6、将Ar、乙炔同时通入管道内进行等离子体增强化学气相沉积，气压5-20Pa，以管道为阴极，脉冲电压3000-10000V，频率100-3000Hz，脉宽10-1000us，时间10-300min；

S7、重复步骤S5和步骤S6，间隔时间1-100min。

2.根据权利要求1所述的一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法，其特征在于，步骤S3中，Ar流量为50-500sccm。

3.根据权利要求1所述的一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法，其特征在于，步骤S4中，Ar流量为100-500sccm，四甲基硅烷流量为10-100sccm。

4.根据权利要求1所述的一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法，其特征在于，步骤S5中，Ar流量为100-500sccm，四甲基硅烷流量为10-100sccm。乙炔流量为50-300sccm。

5.根据权利要求1所述的一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法，其特征在于，步骤S6中，Ar流量为100-500sccm，乙炔流量为50-300sccm。

6.根据权利要求1所述的一种管道内壁耐腐蚀DLC膜层的制备方法，其特征在于，步骤S7中，所述重复的次数≥1次。