[发明专利]一种双面太阳能电池及其制备方法

摘要

本申请实施例提供一种双面太阳能电池及其制备方法，涉及光伏领域。本申请的制备方法中，采用先沉积再轰击的方式形成的本征硅层，能增强电池的抵御烧蚀性能，减少金属复合损失和填充系数，制成的太阳能电池的效率能得到明显提升。而且本申请的双面太阳能电池中，本征硅层相比于第二晶硅掺杂层，其单氢原子连接的‑SiH数量更高，双氢原子连接的‑SiH2数量更低，本征硅层内载流子复合的缺陷更少，有利于提高场钝化性能。