[发明专利]保证MEMS高质量贴盖的改进方法在审
| 申请号： | 202210493236.8 | 申请日： | 2022-05-07 |
| 公开（公告）号： | CN114890378A | 公开（公告）日： | 2022-08-12 |
| 发明（设计）人： | 郑志荣;凌忍勇;陈学峰;胡乃仁 | 申请（专利权）人： | 苏州固锝电子股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C99/00 |
| 代理公司： | 昆山中际国创知识产权代理有限公司 32311 | 代理人： | 孙海燕 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种保证MEMS高质量贴盖的改进方法，包括以下步骤：压块矫正工艺：利用压块压住基板，并将压块和基板放在高温环境下进行烘烤；激光印标记：利用高精度的激光印字机在基板上的每个产品单元的四周印上激光标记；自动画胶水和自动贴盖：利用画胶机在产品单元的边缘画上胶水，通过自动贴盖机将盖子贴于胶水上；检测和矫正：利用自动光学检测设备对半成品进行检测；激光印字：根据需求在产品单元上进行激光印字，以便于识别；切割：利用切割机将产品单元切割开来而形成单颗成品。本发明保证了贴盖后的产品全部合格，解决了切割工艺发生切割破刀的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 保证 mems 质量 改进 方法 | ||
【主权项】：
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