[发明专利]保证MEMS高质量贴盖的改进方法

权利要求书

1.一种保证MEMS高质量贴盖的改进方法，其特征在于：包括以下步骤：

步骤一：压块矫正工艺：利用压块压住基板(10)，并将压块和基板放在高温环境下进行烘烤，烘烤条件为：烘烤温度为160-180℃，烘烤时间为15-30min，所述基板(10)上包括若干产品单元(11)；

步骤二：激光印标记：利用高精度的激光印字机在基板(10)上的每个产品单元(11)的四周印上激光标记(12)；

步骤三：自动画胶水和自动贴盖：利用画胶机在产品单元的边缘画上胶水，通过自动贴盖机将盖子贴于胶水上，并通过高温固化所述胶水，使盖子与基板(10)结合得到半成品，所述盖子位于激光标记(12)的内部；

步骤四：检测和矫正：利用自动光学检测设备对半成品进行检测，并将半成品中贴盖不合格的产品单元标识出来，通过人工对盖子进行矫正，确保产品单元100％合格；

步骤五：激光印字：根据需求在产品单元上进行激光印字，以便于识别；

步骤六：切割：利用切割机将产品单元切割开来而形成单颗成品。

2.根据权利要求1所述的保证MEMS高质量贴盖的改进方法，其特征在于：在步骤一中，所述压块包括钢制的大压块(21)与小压块(22)，若干块小压块(22)与若干块基板(10)间隔堆叠在一起形成基板堆，每个基板堆的最上层基板上压合一大压块(21)，每个大压块(21)的重量为3-4kg，每个小压块(22)的重量为0.5-1.5kg。

3.根据权利要求2所述的保证MEMS高质量贴盖的改进方法，其特征在于：在步骤一中，所述压块的平整度≤0.1mm，每个大压块(21)的重量为3±0.2kg,每个小压块(22)的重量为1±0.2kg,烘烤时将整个基板堆放置于高温环境中，烘烤条件为：烘烤温度为175℃，烘烤时间为20min。

4.根据权利要求1所述的保证MEMS高质量贴盖的改进方法，其特征在于：在步骤二中，所述激光标记(12)印在贴盖位置的公差范围内，所述激光标记(12)布满产品单元(11)的四周或者激光标记布置于所述产品单元(11)的四个角端。

5.根据权利要求1所述的保证MEMS高质量贴盖的改进方法，其特征在于：在步骤四中，先在自动光学检测设备中提前设置产品单元(11)的中心点偏差值为±60μm的检测标准，再利用自动光学检测系统按照该检测标准对产品单元(11)的盖子进行检测，并将检测结果通过图像进行显示，在图像中将不合格品标识出来。