[发明专利]沉积源挡板机构及具有该沉积源挡板机构的镀膜设备

摘要

本申请涉及一种沉积源挡板机构及具有该沉积源挡板机构的镀膜设备，其中沉积源挡板机构包括旋转挡板、驱动件和转动组件，所述驱动件连接所述转动组件且能够带动所述转动组件旋转，所述转动组件沿第一方向设置并连接所述旋转挡板，所述转动组件转动能够带动所述旋转挡板在旋转平面旋转，所述第一方向垂直于所述旋转平面。上述方案中转动组件的转动轴线相对真空腔的侧壁垂直设置，通过将转动组件带动旋转挡板在与转动组件垂直的平面旋转，使得旋转挡板在与真空腔侧壁平行的旋转平面内旋转，可以使得旋转挡板在旋转过程中占用真空腔内部的空间较少，从而提高了镀膜设备的真空腔内部空间利用率。