[发明专利]一种用于半导体芯片集成的辐射固化胶体组合物在审

专利信息
申请号: 202210387135.2 申请日: 2022-04-13
公开(公告)号: CN114942570A 公开(公告)日: 2022-08-26
发明(设计)人: 马晓东 申请(专利权)人: 滁州金桥德克新材料有限公司无锡分公司
主分类号: G03F7/039 分类号: G03F7/039;G03F7/004;H01L23/29;H01L21/56
代理公司: 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288 代理人: 吕鹏涛
地址: 239500 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种用于半导体芯片集成的辐射固化胶体组合物,包括以下重量份的组份:碱溶性聚丙烯酸20~50份、碱溶性酚醛树脂40~100份、光引发剂9~15份、热交联剂5~30份、填料40~80份、助剂0.1~30份、溶剂300~500份。本发明提供的辐射固化胶体组合物,发挥多组分混合树脂协同作用,涂料固化所需温度低,能耗低,具有高延展性、低应力、高金属密合性、高耐热性、低介电损耗,固化后形成的图案具有高精细度,尤其适用于半导体芯片的封装及作为多极堆栈层间介质,能够极大提高半导体基板生产率、成品率,同时延长产品寿命。
搜索关键词: 一种 用于 半导体 芯片 集成 辐射 固化 胶体 组合
【主权项】:
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