[发明专利]边缘识别方法、系统、晶圆加工装置及晶圆与加工台同心状态确定方法有效
| 申请号： | 202210375787.4 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114820475B | 公开（公告）日： | 2023-03-24 |
| 发明（设计）人： | 高阳;张宁宁;高金龙;吕孝袁;葛凡 | 申请（专利权）人： | 苏州优力科瑞半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/13;G06T5/20;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京艾普利德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32297 | 代理人： | 顾祥安 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了边缘识别方法、系统、晶圆加工装置及晶圆与加工台同心状态确定方法，其中边缘识别方法包括如下步骤：S1，获取一待分析图像；S2，对待分析图像进行滤波处理；S3，采用改进的Canny算子对经过滤波处理的待分析图像进行边缘检测；S4，根据设定的曲率阈值及边缘检测的结果来确定待分析图像中是否存在晶圆上的太鼓环的边缘。本方案通过改进的Canny算子，能够有效地提高边缘检测的精度，从而为太鼓环的边缘识别提供有利条件，结合晶圆与透光孔的曲的特性进行筛选，能够有效消除透光孔边缘对太鼓环的边缘识别的影响，从而最终确定图像上是否存在太鼓环的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 边缘 识别 方法 系统 加工 装置 同心 状态 确定 | ||
【主权项】：
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