[发明专利]边缘识别方法、系统、晶圆加工装置及晶圆与加工台同心状态确定方法

权利要求书

1.边缘识别方法，其特征在于：包括如下步骤：

S1，获取待分析图像，所述待分析图像是位于加工台上方的图像采集装置对该加工台上一透光孔区域进行拍摄得到的图像，所述加工台上放置有经过对中调整的晶圆；

S2，对所述待分析图像进行滤波处理；

S3，采用改进的Canny算子对经过滤波处理的所述待分析图像进行边缘检测；

S4，根据设定的曲率阈值及边缘检测的结果来确定所述待分析图像中是否存在晶圆上的太鼓环的边缘；

所述S2中，采用自适应中值滤波法对所述待分析图像进行滤波处理；

所述改进的Canny算子中，采用双边滤波进行图像平滑；在计算图像梯度时，根据8个方向的梯度模板进行计算；采用大津算法计算Canny算子的高低曲率阈值；

所述S4中，识别边缘检测的结果中是否具有一段曲率小于所述曲率阈值的黑白交接线，如有，将该曲率小于曲率阈值的黑白交接线作为所述待分析图像中的所述太鼓环的边缘；反之，确认所述待分析图像中未识别到太鼓环的边缘。

2.根据权利要求1所述的边缘识别方法，其特征在于：在通过改进的canny算子进行边缘检测之前，先确定所述待分析图像是否为全黑图像或全白图像，如是，不对所述待分析图像进行边缘检测，并确定该待分析图像中未识别到太鼓环的边缘；反之，对所述待分析图像进行边缘检测。

3.边缘识别系统，其特征在于：包括

图像获取单元，用于获取待分析图像，所述待分析图像是位于加工台上方的图像采集装置对该加工台上一透光孔区域进行拍摄得到的图像，所述加工台上放置有经过对中调整的晶圆；

滤波处理单元，用于对所述待分析图像进行滤波处理；

边缘检测单元，用于采用改进的Canny算子对经过滤波处理的所述待分析图像进行边缘检测；

边缘识别单元，用于根据设定的曲率阈值及边缘检测的结果来确定所述待分析图像中是否存在晶圆上的太鼓环的边缘；

所述滤波处理单元采用自适应中值滤波法对所述待分析图像进行滤波处理；

所述边缘检测单元的改进的Canny算子中，采用双边滤波进行图像平滑；在计算图像梯度时，根据8个方向的梯度模板进行计算；采用大津算法计算Canny算子的高低曲率阈值；

所述边缘识别单元识别边缘检测的结果中是否具有一段曲率小于所述曲率阈值的黑白交接线，如有，将该曲率小于曲率阈值的黑白交接线作为所述待分析图像中的所述太鼓环的边缘；反之，确认所述待分析图像中未识别到太鼓环的边缘。

4.晶圆加工装置，其特征在于：包括如权利要求3所述的边缘识别系统。

5.晶圆与加工台同心状态确认方法，其特征在于：采用如权利要求1或2所述的边缘识别方法对图像采集装置于每个透光孔处采集的每张待分析图像进行识别。