[发明专利]边缘识别方法、系统、晶圆加工装置及晶圆与加工台同心状态确定方法

说明书

本发明揭示了边缘识别方法、系统、晶圆加工装置及晶圆与加工台同心状态确定方法，其中边缘识别方法包括如下步骤：S1，获取一待分析图像；S2，对待分析图像进行滤波处理；S3，采用改进的Canny算子对经过滤波处理的待分析图像进行边缘检测；S4，根据设定的曲率阈值及边缘检测的结果来确定待分析图像中是否存在晶圆上的太鼓环的边缘。本方案通过改进的Canny算子，能够有效地提高边缘检测的精度，从而为太鼓环的边缘识别提供有利条件，结合晶圆与透光孔的曲的特性进行筛选，能够有效消除透光孔边缘对太鼓环的边缘识别的影响，从而最终确定图像上是否存在太鼓环的边缘。

技术领域

本发明涉及晶圆加工领域，尤其是边缘识别方法、系统、晶圆加工装置及晶圆与加工台同心状态确定方法。

背景技术

在对太鼓晶圆上的太鼓环进行切割及去除时，需要先将晶圆放置在加工台上，然后通过对中装置使晶圆尽可能调整至与加工台同心的状态后，再进行相应的加工。

但是在对中调整后，仍存在晶圆与加工台无法达到预期的同心状态的情况，因此，在加工前，理想的改进是利用视觉检测来确定对中调整后的晶圆与加工台是否处于预期的同心状态。

进行检测时，会在加工台上开设一组透光孔，当晶圆与加工台共轴时，太鼓环的边缘的不同位置会位于每个所述透光孔处。然后，通过位于加工台上方的图像采集装置来采集每个透光孔区域的图像，随后需要通过图像分析确定图像中是否具有太鼓环的边缘。而常规的边缘检测方法虽然能够检测出图像中的黑白交接线，但是由于存在透光孔边缘的干扰，无法确定黑白交接线是否是太鼓环的边缘，也就无法确认图像中是否有太鼓环的边缘。

发明内容

本发明的目的就是为了解决现有技术中存在的上述问题，提供一种边缘识别方法、系统、晶圆加工装置及晶圆与加工台同心状态确定方法。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

边缘识别方法，包括如下步骤：

S1，获取一待分析图像，所述待分析图像是位于加工台上方的图像采集装置对该加工台上一透光孔区域进行拍摄得到的图像，所述加工台上放置有经过对中调整的晶圆；

S2，对所述待分析图像进行滤波处理；

S3，采用改进的Canny算子对经过滤波处理的所述待分析图像进行边缘检测；

S4，根据设定的曲率阈值及边缘检测的结果来确定所述待分析图像中是否存在晶圆上的太鼓环的边缘。

优选的，所述S2中，采用中值滤波法对所述待分析图像进行滤波处理。

优选的，所述中值滤波法为自适应中值滤波法。

优选的，所述改进的Canny算子中，采用双边滤波进行图像平滑。

优选的，所述改进的Canny算子中，在计算图像梯度时，根据8个方向的梯度模板进行计算。

优选的，所述改进的Canny算子中，采用大津算法计算Canny算子的高低曲率阈值。

优选的，所述S4中，识别边缘检测的结果中是否具有一段曲率小于所述曲率阈值的黑白交接线，如有，将该曲率小于曲率阈值的黑白交接线作为所述待分析图像中的所述太鼓环的边缘；反之，确认所述待分析图像中未识别到太鼓环的边缘。

优选的，在通过改进的canny算子进行边缘检测之前，先确定所述待分析图像是否为全黑图像或全白图像，如是，不对所述待分析图像进行边缘检测，并确定该待分析图像中未识别到太鼓环的边缘；反之，对所述待分析图像进行边缘检测。

边缘识别系统，包括

图像获取单元，用于获取待分析图像，所述待分析图像是位于加工台上方的图像采集装置对该加工台上一透光孔区域进行拍摄得到的图像，所述加工台上放置有经过对中调整的晶圆；