[发明专利]一种醇醚碳化硅抛光液及其制备方法和应用在审
| 申请号： | 202210372821.2 | 申请日： | 2022-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN114574106A | 公开（公告）日： | 2022-06-03 |
| 发明（设计）人： | 陈瑞儿 | 申请（专利权）人： | 宁波日晟新材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;H01L21/306 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 杨灿 |
| 地址： | 315410 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种醇醚碳化硅抛光液，其由以下质量浓度的原料组成：0.1～40％研磨剂颗粒、50～97％醇醚、2～30％非水稀释剂、0.5～20％氧化剂和0.2～5％pH调节剂，且所述碳化硅抛光液pH值为2～12。本发明的碳化硅抛光液，不仅具有切削率高，表面质量稳定，循环使用寿命长的优点，而且无挥发性和重金属污染问题，易于长期储存，尤其适用于难加工的含硅表面的超精密光学器件或半导体功率器件的表面抛光。本发明还公开了一种醇醚碳化硅抛光液的制备方法和应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 抛光 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁波日晟新材料有限公司，未经宁波日晟新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210372821.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
