[发明专利]一种用于制造红光Micro-LED的氮化物薄膜结构在审
| 申请号： | 202210354691.X | 申请日： | 2022-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN115084331A | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 高江东;樊琦;张建立;王小兰;郑畅达;王立 | 申请（专利权）人： | 南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/16 | 分类号： | H01L33/16;H01L33/20;H01L33/24;H01L33/06;H01L33/32 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 36100 | 代理人： | 张文 |
| 地址： | 330031 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种用于制造红光Micro‑LED的氮化物薄膜结构，晶圆作为制造该氮化物薄膜结构的衬底，且晶圆的表面法向与表面晶向之间的夹角为1.0至3.0°，薄膜表面及内部含有台阶形状的层堆叠，所述层堆叠包括：掺Si层、发光量子阱层和掺Mg层。所述台阶形状是由自然生长得到，大小不一、形状不规则，分布均匀，单个台阶由台阶平台和台阶侧壁构成，台阶平台和台阶侧壁之间具有一定夹角，其夹角在90°±10°之间。本发明的优点是：（1）用该氮化物薄膜制备的红光Micro‑LED在工作时具有较低的工作电压；（2）用该氮化物薄膜制备的红光Micro‑LED在工作时，侧表面及其附近的非辐射复合较少，电‑光转换的量子效率较高；（3）用该氮化物薄膜制备的红光Micro‑LED在薄膜面内不同位置上均具有稳定的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制造 红光 micro led 氮化物 薄膜 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司，未经南昌大学;南昌硅基半导体科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202210354691.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
