[发明专利]半导体12寸MES系统中FOUP Clean的自动化流程设计方法及系统

摘要

本发明公开了一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计系统，包括载具管理模块(CMS)、搬运模块(GTM)、自动化模块(AUTO)，所述载具管理模块管理载具的状态，包括载具的使用次数以及载具的使用时间，所述搬运模块负责与载具管理模块(CMS)协作在载具状态Dirty(需要清洗)时驱动载具的搬运，所述自动化模块负责与自动化软件(EAP)协作把载具清洗在设备上自动执行起来。本发明采用以载具为中心的自动化异常处理流程设计，能够100％达到自动化清洗流程标准。在本发明使用之后，12寸半导体生产无尘室可以达到“关灯”效果，无尘室内不需要操作员。