[发明专利]半导体12寸MES系统中FOUP Clean的自动化流程设计方法及系统在审
| 申请号： | 202210335275.5 | 申请日： | 2022-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN114850162A | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 叶宇晖;何涛 | 申请（专利权）人： | 上海哥瑞利软件股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 田敏 |
| 地址： | 201199 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 半导体 12 mes 系统 foup clean 自动化 流程 设计 方法 | ||
1.一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计系统，其特征在于，包括载具管理模块、搬运模块、自动化模块，所述载具管理模块管理载具的状态，包括载具的使用次数以及载具的使用时间，所述搬运模块负责与载具管理模块协作在载具状态Dirty时驱动载具的搬运，所述自动化模块负责与自动化软件协作把载具清洗在设备上自动执行起来。
2.根据权利要求1所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计系统，其特征在于，所述自动化模块包含FOUP CLEAN的接口供EAP使用。
3.一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，其特征在于，包括如下步骤：
(1)载具放上端口后，EAP发送STARTCLEAN到MES的自动化模块；
(2)MES把载具状态改变为清洗中；
(3)清洗完成后，设备通知EAP清洗完成，EAP发送ENDCLEAN到MES的自动化模块；
(4)异常发生时，针对载具进行暂停处理；
(5)利用MES系统和EAP系统的接口细节。
4.根据权利要求3所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，其特征在于，利用MES系统和EAP系统的接口细节，EAP发送MES.STARTCLEAN到MES。
5.根据权利要求3所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，其特征在于，利用MES系统和EAP系统的接口细节，EAP发送MES.ENDCLEAN到MES。
6.根据权利要求3所述的一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，其特征在于，利用MES系统和EAP系统的接口细节，EAP发送MES.HOLDCARRIER到MES。
7.一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，其特征在于，采用权利要求1中的系统。
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