[发明专利]半导体12寸MES系统中FOUP Clean的自动化流程设计方法及系统

说明书

本发明公开了一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计系统，包括载具管理模块(CMS)、搬运模块(GTM)、自动化模块(AUTO)，所述载具管理模块管理载具的状态，包括载具的使用次数以及载具的使用时间，所述搬运模块负责与载具管理模块(CMS)协作在载具状态Dirty(需要清洗)时驱动载具的搬运，所述自动化模块负责与自动化软件(EAP)协作把载具清洗在设备上自动执行起来。本发明采用以载具为中心的自动化异常处理流程设计，能够100％达到自动化清洗流程标准。在本发明使用之后，12寸半导体生产无尘室可以达到“关灯”效果，无尘室内不需要操作员。

技术领域

本发明涉及半导体器件清洗领域，具体涉及一种基于半导体12寸MES系统的FOUPClean的自动化流程设计方法。

背景技术

在半导体12寸晶圆生产的过程中，FOUP Clean为清洗载具的设备(比如EETVFC301PSTH MTCM-830型号的设备)。在清洗载具之前，需要确保载具内没有晶圆，所以清洗过程中载具内是空的。在12寸的生产系统里，需要达到所有过程全自动，而大部分的场景里，载具里都有包含晶圆批次，自动化流程都是围绕批次进行管控，而没有批次的FOUPClean则无法使用批次场景进行管控。哥瑞利软件股份有限公司设计一套以载具为管控的流程将12寸晶圆工厂的FOUP Clean控制自动化。

现有12寸晶圆生产系统以批次为管理中心，对空载具的自动化清洗流程没有对应的标准，有些工厂保留了人工清洗的操作，这种方式无法达成100％全自动(Full Auto)的关灯工厂标准。

发明内容

本发明提供了一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，是一种以载具为中心的自动化异常处理流程。

一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计系统，包括载具管理模块(CMS)、搬运模块(GTM)、自动化模块(AUTO)，所述载具管理模块管理载具的状态，包括载具的使用次数以及载具的使用时间，所述搬运模块负责与载具管理模块(CMS)协作在载具状态Dirty(需要清洗)时驱动载具的搬运，所述自动化模块负责与自动化软件(EAP)协作把载具清洗在设备上自动执行起来。

作为优选实施例，所述自动化模块包含FOUP CLEAN的接口供EAP使用。

一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，包括如下步骤：

(1)载具放上端口后，EAP发送STARTCLEAN到MES的自动化模块，此步骤作用在于对载具的开始清洗同步到MES系统；

(2)MES把载具状态改变为清洗中，此步骤作用在于对载具的状态呈现给用户；

(3)清洗完成后，设备通知EAP清洗完成，EAP发送ENDCLEAN到MES的自动化模块，此步骤作用在于对载具的完成清洗同步到MES系统；

(4)异常发生时，针对载具进行暂停处理，此步骤作用在于对载具清洗的异常进行自动暂停管理，防止异常载具重复清洗；

(5)利用MES系统和EAP系统的接口细节，接口细节的作用在于系统之间的固定协议内容。

作为优选实施例，利用MES系统和EAP系统的接口细节，EAP发送MES.STARTCLEAN到MES(EAP-MES)。

作为优选实施例，利用MES系统和EAP系统的接口细节，EAP发送MES.ENDCLEAN到MES(EAP-MES)。

作为优选实施例，利用MES系统和EAP系统的接口细节，EAP发送MES.HOLDCARRIER到MES(EAP-MES)。

一种基于半导体12寸MES系统的FOUP Clean的自动化流程设计方法，采用本申请的系统。