[发明专利]一种用于晶圆的定位搬运装置

摘要

本发明公开了一种用于晶圆的定位搬运装置，包括支撑板、安装板、第一圆盘和第二圆盘，所述支撑板前侧表面设置有滑轨，所述模组一上设置有模组二，所述安装板的下方连接有支撑台，所述弹簧的上方设置有滑套。本发明通过吸盘的设置，当需要对晶圆进行搬运时，通过吸盘能够将晶圆进行吸附，通过气缸能够控制吸盘的高度，从而便于对晶圆进行吸取，然后再通过模组一和模组二来带动晶圆进行滑动运输，整个过程不需要人工干预，提高了加工效率，减少了人力，并避免了人工操作受伤的风险，同时三个卡块同时对晶圆进行限位固定，由此能够对晶圆进行定位，避免晶圆在加工时出现位置偏移的现象。