[发明专利]一种用于晶圆的定位搬运装置

权利要求书

1.一种用于晶圆的定位搬运装置，包括支撑板(1)、安装板(4)、第一圆盘(6)和第二圆盘(14)，其特征在于：所述支撑板(1)前侧表面设置有模组一(2)，所述模组一(2)上设置有模组二(3)，所述安装板(4)的下方连接有支撑台(5)，所述支撑台(5)的底部设置有第一圆盘(6)，所述第一圆盘(6)上连接有固定块(7)，所述固定块(7)的里面设置有电机(9)，所述电机(9)的一侧连接有丝杆(10)，所述第二圆盘(14)的一侧连接有连接板(16)，所述连接板(16)的前端连接有固定板(17)，所述固定板(17)的上方设置有气缸(18)，所述气缸(18)的上方设置有固定台(19)，所述固定台(19)的左右两侧连接有滑杆(20)，所述滑杆(20)上设置有弹簧(21)，所述弹簧(21)的上方设置有滑套(22)。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述模组一(2)与模组二(3)之间为滑动连接，所述模组二(3)的前端设置有安装板(4)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述固定块(7)设置有3个，所述固定块(7)关于第一圆盘(6)之间按一定角度分布，所述固定块(7)的中部开设有滑槽(8)。

4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述滑槽(8)内部设置有第二滑块(11)，所述滑槽(8)与第二滑块(11)之间为滑动连接，所述第二滑块(11)上方设置有卡块(12)。

5.根据权利要求4所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述卡块(12)设置有3个，所述卡块(12)上开设有凹槽(13)，所述卡块(12)关于第一圆盘(6)之间按一定角度分布。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述第一圆盘(6)的底部设置有第二圆盘(14)，第一圆盘(6)与第二圆盘(14)之间设置有定位螺栓(15)。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述气缸(18)设置有2个，所述气缸(18)关于第二圆盘(14)之间相互中心对称。

8.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述滑杆(20)与滑套(22)之间为滑动连接，所述滑杆(20)的外径小于滑套(22)的内径，所述滑套(22)的上方设置有吸盘(23)。

9.根据权利要求8所述的一种用于晶圆的定位搬运装置，其特征在于：所述吸盘(23)设置有4个，所述吸盘(23)关于固定台(19)之间相互中心对称。