[发明专利]一种低压下将纳米金刚石薄膜中石墨相转变为金刚石相的方法

摘要

本发明公开了一种低压下将纳米金刚石薄膜中石墨相转变为金刚石相的方法，该方法以钽丝作为热丝化学气相沉积法的热源，在沉积纳米金刚石薄膜之前，对钽丝进行深度碳化，抑制薄膜沉积过程中钽的高温逸出，使得钽以分散原子的形态存在于纳米金刚石薄膜中，对薄膜进行高温退火，可在钽的作用下使薄膜中的石墨相转变为金刚石相，这对于扩展金刚石的制备方法具有十分重要的科学意义和工程价值。