[发明专利]一种双重响应的光刻胶组合物及其应用在审
| 申请号： | 202210268813.3 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN114755887A | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 金峰;王健羽;郑美玲;董贤子 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/027 | 分类号： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 赵晓丹 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种双重响应的光刻胶组合物及其应用。本发明公开的光刻胶组合物包含功能单体、聚合物以及光引发剂。该组合物中的功能单体、聚合物和光引发剂在飞秒激光的照射下发生聚合反应，将功能单体结合到聚合物链中，从而实现对pH和温度双重刺激的智能响应，同时具有较低的飞秒激光直写阈值，飞秒激光直写速度快。选用的光刻胶组合物多为烯烃类物质，原料易得、容易合成，简化了智能材料的获取流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 双重 响应 光刻 组合 及其 应用 | ||
【主权项】：
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